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安徽伽德羅工業(yè)技術(shù)有限公司

氦質(zhì)譜檢漏儀的研究進展

信息來源:www.yxxzzb.com   2021-11-23 10:12:14

    在科學技術(shù)不斷發(fā)展的時代,氦氣及其應用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。這主要由兩個因素決定:一方面,檢漏應用技術(shù)不斷對檢漏儀提出新的要求,迫使儀器本身更新;另一方面,檢漏技術(shù)在應用過程中也隨時隨地對現(xiàn)有檢漏儀進行補充。對于一些不足之處,江蘇氦檢漏系統(tǒng)現(xiàn)階段氦質(zhì)譜檢漏儀的研究進展及其應用之間的關(guān)系是互補和相輔相成的。

    氦質(zhì)譜檢漏儀的研究進展
    經(jīng)過近半個世紀的努力,如今的氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)告別了40年代初的狀況。

    主要體現(xiàn)在以下幾個方面:

    (1)高壓檢漏:檢漏口壓力可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)、大泄漏工件非常有用。

    (2)自動化程度高:氦峰自動校準,自動調(diào)零,自動量程轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,外置打印機。整個機器由電腦控制,菜單的選擇功能,一個按鈕就可以完成一個完整的檢漏過程。

    (3)便攜式:近年來,各國引進的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且攜帶方便,為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了更大的便利。

    (4)檢漏范圍寬:目前檢漏儀質(zhì)量范圍廣。它不僅能檢測氦氣,還能檢測其他氣體。

    (5)無油干漏檢測:在一些家,可以采用干泵實現(xiàn)無油蒸汽的效果,為無油系統(tǒng)、芯片等半導體器件的檢漏提供了有利條件。

    江蘇氦檢漏系統(tǒng)分子泵排氣系統(tǒng)取代了擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題,而且對儀器的快速啟動和快速停機也有很大的貢獻。為了適應檢漏壓力的變化和不同的靈敏度要求,分子泵一般采用多級結(jié)構(gòu)和幾種不同的轉(zhuǎn)速。例如,瑞士和日本利用改變分子泵的速度來達到這一目的,并提高泄漏檢測靈敏度。另外,反擴散檢漏方法實現(xiàn)了高壓下的檢漏,為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。